超聲波物聯(lián)傳感器#農(nóng)業(yè)效率《氣象支持》??????? #????<????>氣象傳感器在天氣預(yù)報(bào)、高速公路、船舶航行、機(jī)場(chǎng)、軍事等方面有巨大需求，其核心技術(shù)長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷，嚴(yán)重制約了我國(guó)氣象傳感器及其相關(guān)行業(yè)的發(fā)展，因此，必須解決關(guān)鍵技術(shù)難題：

　　復(fù)雜性，氣象傳感器涉及氣壓、風(fēng)速風(fēng)向、濕度等多種敏感原理，面臨復(fù)雜的設(shè)計(jì)、制造、封裝等問(wèn)題;

　　可靠性，氣象傳感器需要長(zhǎng)期在野外工作，面臨灰塵、腐蝕等惡劣環(huán)境下工作的可靠性問(wèn)題。

　　在國(guó)家自然科學(xué)基金、國(guó)家863計(jì)劃等支持下，本項(xiàng)目系統(tǒng)地開(kāi)展了氣象傳感器設(shè)計(jì)理論、關(guān)鍵技術(shù)研究，較好解決了上述技術(shù)難題，并成功應(yīng)用于氣象傳感器及其系統(tǒng)研制和批量生產(chǎn)中。

　　主要?jiǎng)?chuàng)新如下：

　　1. 在國(guó)際上研究并提出了基于面積變化和介電伸縮效應(yīng)的MEMS電容式氣壓傳感器結(jié)構(gòu)，保證了傳感器輸出的線性度;了二氧化硅介電伸縮系數(shù)的懸臂梁測(cè)試結(jié)構(gòu)，獲取了介電伸縮系數(shù)基礎(chǔ)數(shù)據(jù);提出了帶微孔濾膜的電容式氣壓傳感器封裝方法，提高了傳感器環(huán)境適應(yīng)性。

　　2. 了JD-WQX5風(fēng)速風(fēng)向傳感器的測(cè)溫方法和深槽隔熱結(jié)構(gòu)，提出了風(fēng)速風(fēng)向傳感器的溫度自平衡測(cè)控方法，解決了長(zhǎng)期以來(lái)風(fēng)速風(fēng)向傳感器量程難以提高的技術(shù)難題;了風(fēng)速風(fēng)向傳感器的陶瓷圓片封裝技術(shù)，保障了傳感器工作的可靠性。

　　3. 了JD-WQX5濕度傳感器片上集成多晶硅加熱電阻結(jié)構(gòu)，縮短了濕度傳感器的脫附時(shí)間;了氮化硅包覆鋁電的結(jié)構(gòu)，有效防止了聚酰亞胺吸水而腐蝕鋁電，突破了濕度傳感器長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性的技術(shù)瓶頸。

　　4. 建立了JD-WQX5器件-封裝結(jié)構(gòu)溫度效應(yīng)模型，提出了微懸臂梁接觸長(zhǎng)度的測(cè)量結(jié)構(gòu)，了微懸臂梁疲勞特性的測(cè)量方法，實(shí)現(xiàn)了MEMS結(jié)構(gòu)與器件的溫度、濕度、振動(dòng)可靠性測(cè)試和評(píng)估。

　　5. 了前向散射式能見(jiàn)度檢測(cè)器大氣散射信號(hào)測(cè)量技術(shù)，開(kāi)發(fā)了前向散射式能見(jiàn)度檢測(cè)器系統(tǒng)。

　　獲中國(guó)授權(quán)43項(xiàng);制訂國(guó)家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng);出版英文叢書(shū)1章;發(fā)表論文138篇(SCI 26篇、EI 138篇)、SCI他引152次;在國(guó)內(nèi)會(huì)議大會(huì)報(bào)告2次、在國(guó)外會(huì)議邀請(qǐng)報(bào)告2次。